第(3/3)页

    众所周知，玻璃看似透明，但内部其实有很多杂质。

    如果是用普通的玻璃制作成透镜，对光束进行聚焦，就会因为内部的各种杂质，导致光束被分散、偏移，导致聚焦不准。

    为了保证聚焦成功，只能放宽光束直径。

    这就是早期光刻机的光刻宽度有限的根本原因，而提升光刻机的刻蚀精度，就是要想方设法，约束光束的聚焦范围，范围越小，精度就越高。

    要保证聚焦范围，一方面是研发波长更短的高能激光，一方面就是提升透镜的透光度。

    两者缺一不可。白

    云天正在指挥研究人员们做的，就是制造出高纯度、高透光度的透镜材料。“

    提取样本，对其掺入杂质进行分析！”随

    着他的命令，一根纤细的合金针从炉顶缓缓降落，汲取了部分熔融物，然后再缓缓升起。研

    究人员提取了合金针上的样本，迅速送入各个测量仪器，对其内部成分进行测量。数

    据很快出来。

    “钼含量为4．2……硼为0．12……铁为0．04……”研究人员带着激动的表情，将一项项参数迅速报到他面前。

    随着一个个参数的报出，实验室内众人的表情都兴奋起来。

    从检测的结果来看，这一炉材料的纯度已经达到了国际上同等纯度。

    比国内最高水平还要高出一个等级！白

    云天也很高兴。虽

    然只能实验室小规模制造，但有了这种高纯度透光材料，光刻机的透镜就有了希望。他

    嘴角微弯：“先别急，我们还只是制造出了高纯度材料，还不是高兴的时候。”“

    是！”研

    究人员们也知道还不是高兴的时候，要将高纯度材料，变成高透光率的镜片，还需要将其制作成锅盖大小的玻璃片，光是在成型时，如何让材料分子平均分散，保证每一个部位都同样强度、稳定性，就不是一件容易的事情。

    这还只是第一步。当

    玻璃片成型以后，还需要用金刚石车床进行超高精度的碾磨，所涉及到的技术难点，比玻璃片成型还要高。

    但他们一点也不畏惧。出

    于对白云天近乎于盲目的信任，他们相信任何困难都挡不住众人前进的步伐，很快就会被一一克服！

    事实也是如此。

    在白云天作弊性的直接指导下，研究人员只失败了几十次，就成功克服了玻璃成型的关键技术，制造出了内部应力、光学特性稳定的玻璃片。随

    后的碾磨同样没有难住众人。

    利用实验室少量制造的精细碾磨粉末、高纯度辅助试剂、保护膜，研究人员一鼓作气研磨出了符合需求的数十片高透光度镜片。

    光刻机第一道关卡，被众人轻松越过！  


    第(3/3)页