第(1/3)页 沈靖又转过头去和吴博士小声交流着。 陈舟却把注意力转移到了实验装置上。 刚才,吴博士的话提醒了他。 在金刚石掺杂实验中,载流子浓度,会影响霍尔迁移率。 而霍尔迁移率便直接反应着金刚石中硼元素的掺杂程度。 此外,硼元素的掺杂,是通过向mpcvd法制备金刚石薄膜的反应室中加入硼源来实现金刚石的硼掺杂的。 硼源的话,一般会采用含硼的气体,像b2h6和b(ch3)3。 当硼的掺杂浓度较高时,制备的金刚石掺杂是包含了许多点缺陷、线缺陷和面缺陷的。 这些缺陷会捕获载流子,影响金刚石材料的霍尔迁移率,进而影响制备的硼掺杂金刚石。 “果然,无论是金刚石薄膜本身的制备,还是掺杂实验下的单晶金刚石的制备,都是矛盾的实验……”陈舟心里想到。 想了想,陈舟跟吴博士说了一声,便去n型掺杂实验那边了。 正如吴博士所说,n型掺杂比p型掺杂要难得多。 对于p型掺杂,还能参考这自然界的样本。 但是n型掺杂,只能不断摸索。 说起来,n型掺杂的磷元素,就是从氮元素、硫元素、锂元素这些,一步步摸索过来的。 磷的共价键半径是碳的1.4倍,能级位于导带底以下0.58mev。 因为这些性质,磷在金刚石薄膜中可以形成浅能级,所以是实现金刚石n型掺杂的理想元素。 但是,n型磷掺杂金刚石的载流子迁移率仍然是远低于p型硼掺杂。 陈舟找到了彭飞,轻声问道:“实验进行的怎么样?” 彭飞指了指正在进行中的实验装置:“还行吧,和前几次没多大差别。” 顿了顿,他看着陈舟,笑着说道:“就看你们处理数据的结果了。” 闻言,陈舟笑了笑:“我们尽力。” 彭飞又说道:“有什么需要帮忙的,尽管说。” 陈舟点点头:“放心,我不会客气的。” 说完,两人相视一笑。 第(1/3)页