第(2/3)页 工作人员们都是用简单的手势来交流着,在这种高精密的设备周围,哪怕是说话大声一点,都可能影响到光刻结果。 光刻开始。 大约16秒左右,被光刻完成的硅片便出现另一侧的出口。 然后又快速加工了第二块硅片,同样是16秒左右出来。 在检测室外面的赵军、李伟光、方龙等人,都紧紧盯着那两块光刻完成的硅片。 张工和李工用特制的设备,一人负责一块硅片,转移到隔壁的电镜检测室里面。 电子显微镜下,硅片上的电路图纹路和模板一模一样,唯一区别就是尺寸。 “竟然真的可以做到7纳米,不可思议。”李工看着电子显微镜惊叹道。 “不仅仅如此,X射线光刻出来的纹路非常整齐细腻,真是一个杰作。”张工补充道。 俩人对于两块硅片进行了非常全面的检测,最后生成两份检测报告。 在外面干着急的李伟光,看到俩人走出来,迫不及待的上前问道:“结果如何?” 中芯国际和海思众人紧张又期待的看着俩人,希望是好消息,而不是坏消息。 “李总,神光1X射线光刻机的精度确实达到了10~7纳米,甚至比阿斯麦的极紫外光效果更加好。”张工解释道。 呼!众人长出一口气。 李工将两份检测报告递给李伟光:“这是具体检测报告。” 中芯国际的众人连忙传阅起来。 看完详细的检测报告之后,赵军和李伟光呼吸都重了起来,这个神光1X射线光刻机比阿斯麦的顶级光刻机还更强一丝。 至少目前阿斯麦公司的顶级光刻机,在面对7纳米芯片时显得有些力不从心,而神光1X射线光刻机却游刃有余。 如果他们知道黄明哲故意限制精度,就会明白为什么会游刃有余了。 “高总,我以一个华国芯片人的身份,向你们致敬。”李伟光激动不已的说道。 第(2/3)页