第(1/3)页

    还要考虑散热。

    光照在水上会加热水，这种事平时不算什么，但光刻机是极为精密的设备。

    给水散热最好的方法就是让水流动起来，但是水一流动，就又可能会形成气泡，所以出水口的形状、位置都得经过严格计算。

    光是为了给他们做纯水泵和单向阀，就差点难死东升重工！

    此外还要考虑到底是把整个工作台浸没在水中,    还是仅镜头浸在水中……

    这其中反反复复实验了不知道多少遍，才得到了一个技术上较为可行，经济上较为合算的结果。

    进入厂房，杨东升看了一眼旁边的杨淼，虽然只能看到眼睛，但是看得出他对这里很感兴趣,    “怎么样,    这里干净吧？”

    “嗯！”杨淼点点头。

    随同他们一起参观的还有几位国内半导体领域的专家。

    同样一身无尘服的黄副总边走边介绍，“这台光刻机是八十年代初制造的,    使用的是波长0.436微米的汞灯g线，孔径数值0.3，分辨尺寸只有0.89微米。目前经过我们的改造，已经可以达到0.35微米制程，追上了九十年代中期的国际先进水平！”

    众人闻言纷纷点头。

    黄副总继续道，“我统计了一下总公司，以及各子公司、关联公司的同类设备，光是这一项就可以为公司节约投资20个亿，年增加产值5个亿以上！让一大批老设备焕发新春！”

    杨东升问，“如果把咱们最先进的光刻机拿出来，你们能做到什么程度？”

    “这个……”黄副总登时有点卡壳，“咱们公司最先进的光刻机采用的是193纳米准分子激光光线，这個等级的光刻机目前我们还没有能力进行改造,    而且蚀刻机、光刻胶达不到，仅对对光刻机技术改造也无法生产。”
    第(1/3)页