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    第七天，能量控制系统也被他拆下来了，这个玩意控制最终照射到硅片上的能量，直接影响到芯片质量。

    整整七天的时间，陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。

    他对整个光刻机的组成部分了然于心，零部件啥的他可没那个闲心去研究。

    每拆一个大部分，他都会对其中的一些部件、原理、远转等研究一翻。

    看着眼前被拆的七零八落的光刻机，心中满是感慨。

    这种级别的光刻机真如外国的专家所说，给我们全套图纸我们也是搞不出来，一是零部件的精度问题，二是组装精度问题。

    这是任何一个国家或者公司能搞定的，涉及到了光学镜头、光源、轴承等等。

    说amsl是制造商，不如说他们是设计商、组装商更为恰当，只要涉及的相关光源、镜片等等有一个卡了它，他们就彻底的完蛋。

    可惜在政治的意图下，这种可能性不大。

    这台光刻机使用的是fd-soi工艺，工艺在制造过程中相对简单，但是soi基片价格稍贵。

    而陈诺的finfet工艺制造过程更为复杂，但基片价格便宜，让两者的实际制造成本相差不大。

    但不管怎么说，至少是用另一种方式，绕过了国外设置的专利壁垒。

    市面上有cmos、gan、soi三种，finfet将是第四种。

    “周部长，你可以派人来接接收了，我这边暂时搞定了。”

    陈诺用实验室的特殊电话给周正峰打了个电话。

    “你搞定了？研究出啥了没？”

    “你猜？”

    “行吧，你等一会，我让中科院的微电子研究所的钱院长带人去接收。”

    周正峰敢肯定陈诺一定研究出什么了，否则不可能出实验室。

    打完电话，陈诺百无聊奈的看着被拆成了一地零件的光刻机，心里嘀咕了起来。

    “系统，看在你家主人没有功劳也有苦劳的份上，总得给个技能鼓励一下吧！”

    “别人的系统是要啥有啥，怎么到我这里你就这么怂呢？你是不是在你们系统界混的不咋滴？”

    “你早点让我与世间无敌，你也早点回你们系统界交差不行吗？”

    “你再不给技能，我就罢工了，让你社死！”
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