第(2/3)页 只见贺老脚步匆匆,亲自将晶圆放在专门的检验仪器上。 在一旁的电子屏幕上,很快就浮现出,经过放大后,晶圆表面的情况。 一个合格的光刻机,制造出来的晶圆,表面的情况应该与他们光刻模板几乎一致。 同时至少也要保证90%以上的成功率! “贺老,这一批的晶圆效果怎么样?” 在一旁的光刻操作人员询问道。 实验室中,所有人都在等待着贺老的结果。 贺志远并没有说话,用他手不断拖动着鼠标,观察着晶圆的情况。 毕竟是精确到纳米级别的光刻机! 这一项研究对于他们而言,显然也充满了十足的挑战! 很快,他就皱起眉毛来了。 在无数研究人员的注视下,贺老平静摇了摇头。 只见他转过身来,念出了几个坐标。 “你们注意一下142,64还有7,69这两个坐标。” “这两个坐标的附近,几乎都有3-4纳米的误差!” 他从仪器中,取出了检验的晶圆平静的说道。 “这么高的误差,表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片!” “距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。” 围绕在一旁的研究人员,以及专家无不底下头来。 话虽然是这么说,可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。 尽管成功率不算高,在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。 贺老平静的说道。 “另外,我在这里宣布一个好消息,以及一个坏消息。” 贺志远的声音,让众人再度抬起头来。 这种说话语气,可不像是贺老啊。 不过,光电研究团队,还是流露出好奇。 “贺老,您说!” 贺志远点了点头,平静的说道。 “目前,其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“ “脉冲冷激光经过反射后,完全能够用于光刻。” 他的语气一顿,继续说道。 “先说坏消息。” 第(2/3)页